WNS-08DS系列8寸晶圓金相觀察顯微鏡

8寸金相觀察顯微鏡WNS-08DS廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)休-芯片-晶圓-LCD-LED等行業(yè))Z軸電脈高精度設(shè)計(jì)，最小移動(dòng)精度可達(dá)0.1~1um，保證高倍率穩(wěn)定對焦，8寸三層精密移動(dòng)平臺，XY同軸低手位粗微調(diào)設(shè)計(jì)(行程:205x205mm) ，Z軸電脈高精度移動(dòng)設(shè)計(jì)(行程:50mm),標(biāo)配WeiNiSi明暗場金相鏡頭(雙目:10x.鏡 :5X.10X.20X.50x，Z軸可按需訂制輔助對焦功能(價(jià)格另議)
1.產(chǎn)品介紹
◆WNS-08DS金相觀察顯微鏡專為8寸晶圓觀察檢測量身訂做，本機(jī)Z軸對焦采用手脈電控上下，獨(dú)家使用專業(yè)訂制的高精準(zhǔn)細(xì)分脈沖金相測量電機(jī)，通過設(shè)置多種脈沖細(xì)分量和機(jī)構(gòu)上的精準(zhǔn)調(diào)校，可以實(shí)現(xiàn)快上、快下及中慢檔調(diào)速來控制Z軸光學(xué)鏡頭上下移動(dòng),并且Z軸可以選配光柵數(shù)據(jù)和輔助對焦測高模塊，大大提高設(shè)備的綜合使用性能。
設(shè)備通過讓電機(jī)脈沖量的最小化設(shè)置跟傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的最優(yōu)化調(diào)校，可以保證Z軸上下移動(dòng)時(shí)，精細(xì)到0.1~1UM每格（手脈刻度），而有效地杜絕了了目前市場上主流金相顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發(fā)生（高倍下無法定準(zhǔn)對焦面，使用手動(dòng)Z軸調(diào)焦齒輪打滑等等現(xiàn)象?。?br /> ◆WNS-08DS金相觀察顯微鏡采用12寸三層精密移動(dòng)平臺，XY同軸低手位粗微調(diào)設(shè)計(jì)，搭配WeiNiSi明暗場金相光學(xué)鏡頭和630萬高清數(shù)字相機(jī)，高倍率成像清晰穩(wěn)定。
◆WNS-08DS金相觀察顯微鏡在晶圓制造、芯片、半導(dǎo)體等行業(yè)廣泛應(yīng)用。

2.產(chǎn)品特點(diǎn)
● Z軸通過電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制（對焦精度可達(dá)0.0001~0.001mm）
● Z軸可選配增加光柵數(shù)據(jù)和輔助對焦測高功能
● 08寸三層精密移動(dòng)平臺（XY同軸低手位粗微調(diào)顯微鏡專用）
● 視場寬闊，可得清晰無閃爍影像
● 明暗場半復(fù)消色差金相物鏡
● 明暗場反射照明器
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無衍射觀察測量
● 高位目鏡觀察+高清數(shù)字相機(jī)成像觀察
3.技術(shù)參數(shù)
3.1主體規(guī)格
◆X坐標(biāo)行程: 205（mm）
◆Y坐標(biāo)行程： 305（mm）
◆Z坐標(biāo)行程: 50（mm）
◆操控方式：XY手動(dòng)同軸低手位粗微調(diào)可切換（帶快速移動(dòng)）
       Z軸手脈電動(dòng)操控（快上-快下-中檔-慢檔切換）
◆反射照明光源：
明暗場反射照明器，帶明暗場照明切換裝置；
可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽。
3.2目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù)：五孔旋轉(zhuǎn)器，標(biāo)配5X、10X、20X、50X明暗場半復(fù)消色差金相物鏡
◆目鏡放大倍數(shù)：10X( 單、雙目同)
◆總放大倍數(shù)： 50X-500X（包括畸變在內(nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差≤0.08%
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機(jī)0.5X鏡筒
◆CCD：630萬高清數(shù)字相機(jī)（自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測）
◆綜合影像最大放大倍數(shù)：1000X以上