ST-21方阻測(cè)試儀
ST-21方阻測(cè)試儀是一種依照類似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。

ST-21方阻測(cè)試儀特點(diǎn)：
1，采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測(cè)量準(zhǔn)確穩(wěn)定，低功耗；
2，以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；
3，采用單個(gè)電池供電，帶電池欠壓指示；
4，體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
5，特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜
6，探頭帶抗靜電模塊
ST-21方阻測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
 按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：
  1.方塊電阻 1.00～199.99Ω/□；
  2.方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□；
 最小分辨率：0.01Ω/□
恒流源
 測(cè)量過(guò)程誤差：≤±0.8%
模數(shù)轉(zhuǎn)換器
 量程：0～199.99mv；
 分辨率：10μv；
 方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；
測(cè)量不確定度
 在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測(cè)量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格
 間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

電源
 9V疊層電池1節(jié)
ST-21方阻測(cè)試儀可選配HP系列四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格：

型號(hào) (Model)	曲率半徑 (Radius)	壓力 (loads)	探針間距 (spacing)	探針排列 (Arrangement)
HP-501	0.5mm	100g	3.8mm	直線
HP-502	0.75mm	100g	3.8mm	直線
HP-503	0.1mm	150g	1mm	直線
HP-504	0.5mm	100g	1.59mm	直線

ST-21方阻測(cè)試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格：
SP-601型方形四探針探頭是一種專門測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(面電阻)的方塊電阻測(cè)試儀配用的方型四探針測(cè)試探頭，專用于測(cè)量小樣品的四探針探頭，可用于一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻

1，特制之手握式探筆
2，球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜不被損傷
3，探頭帶抗靜電模塊有效防止方塊電阻測(cè)試儀采集數(shù)據(jù)集成模塊燒壞
4，探頭使用壽命長(zhǎng)
5，探針間距：1.59mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

型號(hào) (Model)	曲率半徑 (Radius)	壓力 (loads)	探針間距 (spacing)	探針排列 (Arrangement)
SP-601	0.5mm	100g	1.59mm	方形